一、項(xiàng)目基本情況    

項(xiàng)目編號(hào)：JC203224093701

項(xiàng)目名稱：東南大學(xué)微納平臺(tái)TSV-ALE集成刻蝕系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目

預(yù)算金額：450.000000 萬(wàn)元（人民幣）

最高限價(jià)（如有）：450.000000 萬(wàn)元（人民幣）

采購(gòu)需求：

項(xiàng)目地點(diǎn)：東南大學(xué)無(wú)錫校區(qū)

項(xiàng)目概況：微納平臺(tái)采購(gòu)TSV-ALE集成刻蝕系統(tǒng)1套，主要技術(shù)要求如下        ：    

   （ 一）工藝腔室配置    

   1. 反應(yīng)腔室獨(dú)立模塊化設(shè)計(jì)，方便維護(hù)與保養(yǎng)    

   2. 作業(yè)溫度范圍可覆蓋-20~90 ℃，溫度控制±0.5 ℃，可實(shí)現(xiàn)深硅刻蝕工藝，可實(shí)現(xiàn)GaN、GaAs等多種半導(dǎo)體材料可控原子層刻蝕工藝    

   3. 傳送模塊配備高精度晶圓位置傳感器，可兼容6/8寸晶圓    

   （二）供氣與真空系統(tǒng)    

   1. 配備高速響應(yīng)MFC，響應(yīng)速度<50 ms，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制短脈沖式刻蝕工藝中的工藝氣體通入流量與時(shí)長(zhǎng)    

   2. 機(jī)械泵抽速不小于600 m3 /h，配備分子泵，腔室極限壓力小于4×10-6Torr，真空漏率小于2 mTorr/min    

   3. 配備高精度壓力傳感器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)腔室壓力，檢測(cè)范圍覆蓋0~10 Torr    

   （三）射頻等離子體系統(tǒng)    

   配置高功率脈沖射頻電源，頻率可調(diào)；最大功率不低于2000W，最小功率不高于5 W，調(diào)節(jié)分辨率優(yōu)于0.1 W；配備偏壓Bias射頻源，最大功率不小于1000W，最小功率不高于5 W，調(diào)節(jié)分辨率優(yōu)于0.1 W。  

不接受進(jìn)口產(chǎn)品投標(biāo)，技術(shù)參數(shù)詳見招標(biāo)文件。        

   行業(yè)劃分：工業(yè)    

   本項(xiàng)目 (非專門)面向中小企業(yè)采購(gòu)。    

   本項(xiàng)目(非專門)面向監(jiān)獄企業(yè)來(lái)購(gòu)。    

   本項(xiàng)目(非專門)面向殘疾人福利性單位采購(gòu)。    

合同履行期限：合同簽訂后90天內(nèi)設(shè)備安裝調(diào)試合格。

本項(xiàng)目( 不接受   )聯(lián)合體投標(biāo)。

   二、申請(qǐng)人的資格要求：    

1.滿足《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定；

2.落實(shí)政府采購(gòu)政策需滿足的資格要求：

2.1滿足《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定；        

（1）具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力（提供法人或者其他組織的營(yíng)業(yè)執(zhí)照；供應(yīng)商為自然人的，提供其身份證）；

（2）具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度；

（3）具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力（供應(yīng)商根據(jù)履行采購(gòu)項(xiàng)目合同需要，提供履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力的證明材料）；

（4）有依法繳納稅收和社會(huì)保障資金的良好記錄（提供參加本次政府采購(gòu)活動(dòng)前半年內(nèi)至少一個(gè)月：1提供繳納稅收的憑證；2提供繳納社會(huì)保險(xiǎn)的憑據(jù)（專用收據(jù)或社會(huì)保險(xiǎn)繳納清單）），依法享受免繳、緩繳的，提供證明材料；

（5）參加政府采購(gòu)活動(dòng)前三年內(nèi)，在經(jīng)營(yíng)活動(dòng)中沒(méi)有重大違法記錄（提供承諾書）；

（6）法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件：無(wú)

2.2落實(shí)政府采購(gòu)政策需滿足的資格要求：無(wú) 。    

2.3采購(gòu)人根據(jù)采購(gòu)項(xiàng)目的特殊要求規(guī)定的特定條件，并提供符合特殊要求的證明材料或者情況說(shuō)明：     無(wú)。

 2.4第2.1（5）條所稱重大違法記錄，是指供應(yīng)商因違法經(jīng)營(yíng)受到刑事處罰或者責(zé)令停產(chǎn)停業(yè)、吊銷許可證或者執(zhí)照、較大數(shù)額罰款等行政處罰。

2.5 供應(yīng)商在參加政府采購(gòu)活動(dòng)前3年內(nèi)因違法經(jīng)營(yíng)被禁止在一定期限內(nèi)參加政府采購(gòu)活動(dòng)，期限屆滿的，可以參加政府采購(gòu)活動(dòng)。

2.6單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在直接控股、管理關(guān)系的不同供應(yīng)商，不得參加同一合同項(xiàng)下的政府采購(gòu)活動(dòng)。

為采購(gòu)項(xiàng)目提供整體設(shè)計(jì)、規(guī)范編制或者項(xiàng)目管理、監(jiān)理、檢測(cè)等服務(wù)的供應(yīng)商，不得再參加該采購(gòu)項(xiàng)目的其他采購(gòu)活動(dòng)。

2.7拒絕列入失信被執(zhí)行人、重大稅收違法案件當(dāng)事人名單、政府采購(gòu)嚴(yán)重違法失信行為記錄名單 及其他不符合《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定條件的供應(yīng)商參與政府采購(gòu)活動(dòng)。

3.本項(xiàng)目的特定資格要求：無(wú)。

三、獲取招標(biāo)文件    

時(shí)間：2024年10月31日至 2024年11月07日，每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:30在網(wǎng)上報(bào)名并獲取招標(biāo)文件。（北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外）

售價(jià)：￥400.0  元，本公告包含的招標(biāo)文件售價(jià)總和

四、提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開標(biāo)時(shí)間和地點(diǎn)    

提交投標(biāo)文件截止時(shí)間：2024年11月21日 09點(diǎn)30分（北京時(shí)間）

開標(biāo)時(shí)間：2024年11月21日 09點(diǎn)30分（北京時(shí)間）

地點(diǎn)：詳見招標(biāo)文件。

五、公告期限    

自本公告發(fā)布之日起5個(gè)工作日。

六、聯(lián)系方式