國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,內(nèi)蒙古大全半導(dǎo)體有限公司取得一項(xiàng)名為“電子級(jí)多晶硅補(bǔ)充酸液裝置”的專利,授權(quán)公告號(hào)CN 221773019 U,申請(qǐng)日期為2024年1月。
專利摘要顯示,本實(shí)用新型公開了一種電子級(jí)多晶硅補(bǔ)充酸液裝置,涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,主要目的是自動(dòng)補(bǔ)充工作槽內(nèi)酸液液位和酸濃度。本實(shí)用新型的主要技術(shù)方案為:電子級(jí)多晶硅補(bǔ)充酸液裝置,包括:工作槽的上端口一側(cè)安裝有紅外線發(fā)射器,另一側(cè)安裝有紅外線接收器,紅外線接收器電連接于計(jì)數(shù)器的輸入端,工作槽安裝有第一液位計(jì);第一酸液槽通過第一酸液管連接于調(diào)配槽,第一酸液管安裝有第一流量計(jì)和第一調(diào)節(jié)閥,第二酸液槽通過第二酸液管連接于調(diào)配槽,第二酸液管安裝有第二流量計(jì)和第二調(diào)節(jié)閥,純水管連接于調(diào)配槽,純水管安裝有第三調(diào)節(jié)閥,調(diào)配槽安裝有第二液位計(jì),調(diào)配槽通過輸液管連接于工作槽,輸液管設(shè)有控制閥。