據(jù)國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告,蘇州邁為科技股份有限公司取得一項(xiàng)名為“用于制備異質(zhì)結(jié)太陽能(5.210, 0.00, 0.00%)電池的設(shè)備及系統(tǒng)”的專利,授權(quán)公告號(hào)CN221057449U,申請(qǐng)日期為2023年11月。
專利摘要顯示,本申請(qǐng)公開了一種用于制備異質(zhì)結(jié)太陽能電池的設(shè)備及系統(tǒng),屬于太陽能電池制備技術(shù)領(lǐng)域。用于制備異質(zhì)結(jié)太陽能電池的設(shè)備,異質(zhì)結(jié)太陽能電池包括硅襯底,設(shè)于硅襯底第一表面的第一本征鈍化層,及設(shè)于硅襯底第二表面的第二本征鈍化層,第一本征鈍化層包括第一子本征層和第二子本征層,第二本征鈍化層包括第三子本征層和第四子本征層;設(shè)備包括:第一工藝腔體,用于制備第一子本征層或第三子本征層;第二工藝腔體,所述第二工藝腔體與第一工藝腔體相連通,用于制備第二子本征層或第四子本征層;第一工藝腔體內(nèi)的工藝溫度與第二工藝腔體內(nèi)的工藝溫度不同。本申請(qǐng)能滿足異質(zhì)結(jié)電池對(duì)本征非晶硅基薄膜的多重要求,有助于提升電池的光電轉(zhuǎn)換效率。