天眼查知識(shí)產(chǎn)權(quán)信息顯示,新疆大全新能源股份有限公司取得一項(xiàng)名為“一種多晶硅的生產(chǎn)還原工藝“,授權(quán)公告號(hào) CN114735706B,申請(qǐng)日期為 2022 年 4 月。
專利摘要顯示,本發(fā)明為一種多晶硅的生產(chǎn)還原工藝。一種多晶硅的生產(chǎn)還原工藝,包括:(1)三氯氫硅通過(guò)管線 1 輸送到 E1 模塊,加熱到 60?100℃后,通過(guò)管線 2 輸送到 T1 模塊;氫氣通過(guò)管線 3 輸送到 E2 模塊,加熱到 100?180℃后,通過(guò)管線 4 輸送到所述的 T1 模塊;(2)所述的三氯氫硅和氫氣在所述的 T1 模塊混合后,通過(guò)管線 5 輸送到 E3 模塊,再通過(guò)管線 6 輸送到 T2 模塊進(jìn)行熱沉積,并進(jìn)行余熱的回收。本發(fā)明所述的一種多晶硅的生產(chǎn)還原工藝,通過(guò)連續(xù)耦合對(duì)熱量進(jìn)行利用,最大化的利用自身的熱能,在多晶硅高效還原生產(chǎn)環(huán)節(jié)提供了全套的能耗最低的工藝系統(tǒng),提供一整套完整的循環(huán)節(jié)能控制方案。