天眼查知識產權信息顯示,蘇州邁為科技股份有限公司取得一項名為“曝光機及太陽能(4.980, -0.05, -0.99%)電池加工設備“,授權公告號CN221101265U,申請日期為2023年11月。
專利摘要顯示,本實用新型涉及太陽能電池制造技術領域,尤其涉及一種曝光機及太陽能電池加工設備。該曝光機包括光源、制冷模塊和掩膜板,其中,光源架設在掩膜板上方,制冷模塊包括保溫腔室,保溫腔室設置在光源與掩膜板之間,光源用于發(fā)射激光,激光依次經過保溫腔室和掩膜板后照射在硅片上。通過制冷模塊的設置使得掩膜板的圖形區(qū)域和非圖形區(qū)域的溫度明顯降低,使得掩膜板的溫度和曝光機內部設備機架的溫度保持恒定,避免由于熱量集中導致掩膜板發(fā)生形變、設備機架發(fā)生漲縮的問題,提高該曝光機的產品良率,達到節(jié)約成本的目的。